做微传感器的目的 无源传感器

微传感器是一种基于半导体工艺技术的新一代传感器器件,它应用新的工作机制和物化效应,采用与标准半导体工艺兼容的材料,用微细加工技术制备的。微传感器因其微型化、智能化、低功耗、易集成的特点而越来越受到青睐

根据是否有能源供应,可以分为有源微传感器(例如:压电)和无源微传感器(例如:荧光)根据微传感器所能测量的对象不同,还可以分为如下九类

传感器(Sensor)是一种常见的却又很重要的器件,它是感受规定的被测量的各种量并按一定规律将其转换为有用信号的器件或装置。对于传感器来说,按照输入的状态,输入可以分成静态量和动态量。

我们可以根据在各个值的稳定状态下,输出量和输入量的关系得到传感器的静态特性。传感器的静态特性的主要指标有线性度、迟滞、重复性、灵敏度和准确度等。 传感器的动态特性则指的是对于输入量随着时间变化的响应特性

做微传感器的目的

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